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簡要描述：池田屋HORIBA堀場 排氣壓力控制器從微流量（5SCCM FS）到大流量（500SLM FS）均可控制保證高精度1秒內(nèi)高速響應(yīng)全量程（T98） 尺寸緊湊，
產(chǎn)品型號(hào)：EC-5104廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時(shí)間：2024-08-07訪 問 量：144池田屋HORIBA堀場 排氣壓力控制器
池田屋HORIBA堀場 排氣壓力控制器
對(duì)氦氣和氬氣等導(dǎo)熱氣體進(jìn)行穩(wěn)定且高精度的壓力控制，這對(duì)于控制晶圓背面的溫度至關(guān)重要。配備高速、高分辨率壓電閥和質(zhì)量流量傳感器，不僅可以精確穩(wěn)定地進(jìn)行微小壓力控制，還可以進(jìn)行流量測量。
業(yè)務(wù)部門：半導(dǎo)體
產(chǎn)品類別：流體控制
制造商：HORIBA STEC, Co., Ltd. 通過使用經(jīng)過驗(yàn)證的電容式壓力傳感器，可以在低壓下進(jìn)行精確的壓力控制。
壓力控制期間高精度監(jiān)控氣體流量。
對(duì)氦氣和氬氣等導(dǎo)熱氣體進(jìn)行穩(wěn)定且高精度的壓力控制，這對(duì)于控制晶圓背面的溫度至關(guān)重要。配備高速、高分辨率壓電閥和質(zhì)量流量傳感器，不僅可以精確穩(wěn)定地進(jìn)行微壓差控制，還可以進(jìn)行流量測量。
業(yè)務(wù)部門：半導(dǎo)體
產(chǎn)品類別：流體控制
制造商：HORIBA STEC, Co., Ltd.
供貨精準(zhǔn)穩(wěn)定
配備質(zhì)量
流量傳感器配備質(zhì)量流量控制器中廣泛使用的質(zhì)量流量傳感器，可以以與原料氣體供應(yīng)過程相同的精度監(jiān)控實(shí)際流量。
與質(zhì)量流量控制器相同的尺寸
與質(zhì)量流量控制器相同的尺寸和配件兼容，因此可以進(jìn)行類似的設(shè)計(jì)和構(gòu)造。
符合RoHS指令
這是一款配備數(shù)字控制電路的自動(dòng)壓力調(diào)節(jié)器，該電路使用高精度壓力傳感器和高分辨率、高速響應(yīng)壓電閥。
采用全金屬結(jié)構(gòu)（氣體接觸部分）和無死體積結(jié)構(gòu)，可對(duì)腐蝕性氣體和低蒸氣壓氣體進(jìn)行穩(wěn)定的壓力控制。它可以使用外部信號(hào)進(jìn)行遠(yuǎn)程控制，非常適合安裝在需要全面氣體控制的系統(tǒng)中，例如需要全面性能評(píng)估的氣體傳感器和耐壓評(píng)估系統(tǒng)。
| 互動(dòng)規(guī)模 | 西北40 |
|---|---|
| 氣體接觸材料 | SUS-316L、Viton® |
| 電導(dǎo) （真空區(qū)域） | 0.4～80升/秒 |
| 流出量100mmH2O （全閉） | 20升/分鐘
|
| 互動(dòng)規(guī)模 | 西北50 |
|---|---|
| 氣體接觸材料 | SUS-316L、Viton® |
| 電導(dǎo) （真空區(qū)域） | 0.6～200升/秒 |
| 流出量100mmH2O （全閉） | 25升/分鐘 |
| 互動(dòng)規(guī)模 | 25mm Teflon® 接頭 1 英寸 Teflon® 接頭 |
|---|---|
| 氣體接觸材料 | PTFE、PEEK、Viton® |
| 電導(dǎo) （真空區(qū)域） | 0.4～80升/秒 |
| 流出量100mmH2O （全閉） | 3升/分鐘 |
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